真空腔體製造與
半導體零件製造

聚焦真空腔體與半導體關鍵零組件,提供設計協作、CNC 精密加工、焊接、組立及後續服務。

半導體真空腔體

針對半導體設備所需的真空環境,提供高精密腔體、平台與模組製造,並依設備需求整合加工、焊接、密封及表面處理。

  • PVD Platform
  • ALD 腔體
  • LAMP Cooling
  • Load Lock Chamber
  • Transfer Chamber
  • SEMI / HDP
超高真空腔體製造實績

半導體精密零組件

依客戶圖面與設備規格,製造高精度、高穩定性的半導體零件,並協助進行設計可製造性及品質改善。

  • Shower Head
  • Clamp Ring
  • ESC
  • Chuck & Hot Plate
  • Metal Arm
  • Pedestal Housing
半導體零件製造與 Chuck、Hot Plate 精密加工實績